多軸位置決めステージ【MD-ZT】
高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消!
多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。 従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。
- 企業:ハイウィン株式会社
- 価格:応相談
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高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消!
多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。 従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動5軸位置決めステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。