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大型タッチパネル露光装置 - 企業1社の製品一覧

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大型タッチパネル用露光装置

独自光学系と照明で高精度にアライメント!!!

<特徴> 4.5G(920*730mm)~6G(1500*1850mm)までのタッチパネルの薄板に対応します。 ITO、OC1、メタル、OC2のプロセスに最適なモードを提供します。 画像で不鮮明なITOマーク、メタルの被ったマークを独自光学系と照明で、高精度にアライメントします。 パネル搬送は、縦型で、非接触搬送、薄板に対応します。 マスクチェンジャー(5-10枚)を標準装備し、クリーンなパターニングに対応します

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他表面処理装置
  • その他半導体製造装置

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