大気圧用ラングミュアプローブ - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

大気圧用ラングミュアプローブ

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、 　熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。 ・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。 ・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。 　(2012年11月現在、世界最速　※当社調査による) ・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。 　(2012年11月現在、世界最速　※当社調査による) ・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ 　分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布 　が分析できます。 ・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。 　プローブ先端の取替えも容易。 ・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。