対応欠陥スキャナ(検査) - 企業1社の製品一覧

SiC GaN ウエハ フォトルミネセンス対応 欠陥スキャナー

フォトルミネセンス マッピングに対応した高速レーザー欠陥スキャナー

炭化ケイ素（SiC）および窒化ガリウム（GaN）ベースのウエハと化合物半導体材料の表面下欠陥検査とクラス分け機能のニーズに応えるように開発されました。。さまざまなウェーハ処理オプションが用意されており、クラス最高のスループットと感度を備えながら、1パスあたりのコストを最小限に抑え、研究開発と大量生産の双方の対応します

• 企業：株式会社日本レーザー
• 価格：応相談

• 基板検査装置