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炉内がメタル材料で構成！断熱材などによる炉内の汚染を低減可能な加熱炉
「メタル炉」は、炉内の構成部材(ヒーター・断熱材・炉壁)をすべて タングステンやモリブデンなどの金属で構成した高性能加熱炉です。 通常のアルミナやカーボン製炉では避けられない微量コンタミネーションを 排除し、超高純度・高温・クリーンな焼成環境を実現。 特に、真空または不活性ガス雰囲気での超高温プロセスに適しています。 研究開発から量産まで、シビアな温度・雰囲気管理が求められる プロセスに対応します。 【特長】 ■高純度環境 ■高精度温度制御 ■超高温対応 ■真空・不活性雰囲気対応 ■低アウトガス・低発塵 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
オールメタル構成！高温域では金属表面が微量O2と反応しやすく、残留酸素の影響を低減
当社で取り扱っている「小型メタル炉」についてご紹介いたします。 ～1800℃の安定運転で、高温処理(焼結/拡散接合/時効など)に対応しており、 オールメタル構成で炉材由来コンタミを極小化し、色味・特性の再現性を 向上します。 また、大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも据付容易な コンパクト設計です。 【特長】 ■～1800℃の安定運転：高温処理(焼結/拡散接合/時効など)に対応 ■クリーン度：オールメタル構成で炉材由来コンタミを極小化 ■低酸素雰囲気の再現性：N2/Arによるパージ・置換を標準手順化 ■コンパクト設計：大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも据付容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
