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干渉変位センサ(測定) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

干渉変位センサ Product List

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【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA&QC

ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大5m作動距離。幅広い材質に対応。

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理(QC)や品質保証(QA)の達成に貢献します。 【特長】 ■ピコオーダー分解能 ■広い作動距離範囲:数ミリメートルから最大5メートル ■高磁場、超高真空対応可能 ■モジュール式セットアップ ■超コンパクトなセンサヘッド ■3軸(X,Y, Z)構成可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。

  • attocube_ids_550sq.png
  • 振動監視
  • 干渉変位センサ

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『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』

ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現

当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • センサ
  • 干渉変位センサ

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