超精密ウェーハ平坦度検査装置
縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置
測定基準となる超精密X軸およびθ軸 ウェーハ厚さ偏差情報に加え、ウェーハ両面の形状が解析可能となりました。
- Company:黒田精工株式会社
- Price:応相談
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縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置
測定基準となる超精密X軸およびθ軸 ウェーハ厚さ偏差情報に加え、ウェーハ両面の形状が解析可能となりました。
オプチカルフラットと併用し、干渉縞を見えやすくするライト
『モノクロマチックライト』は、「オプチカルフラット」と併用する、 ライトです。 長寿命のナトリウムランプを使用し、干渉縞を見えやすくします。 【特長】 ■干渉縞を利用した、平坦度測定器 ■干渉縞を見えやすくするライト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光の干渉によって平面度、平行度を測定する、平坦度測定器
ケメット・ジャパンの『オプチカルフラット』は、干渉縞を利用した、 平坦度測定器です。 光の干渉によって平面度、平行度を測定します。 『モノクロマチックライト』を併用することで、 干渉縞が見えやすくなります。 【特長】 ■サイズラインナップが豊富 ■精度の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。