SEMI S6：換気のための安全ガイドライン
SEMI S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を実施！
「SEMI S6」は、排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドラインです。 「SEMI S2」には化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や 毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は、「SEMI S6」の評価が 必要になる場合があります。 毒性の気体が発生する可能性がある場合、通常時・メンテナンス時・ 単一故障時を想定して、排気換気により人体暴露が起きていないかを 模擬試験で確認します。 可燃性の気体が発生する可能性がある場合、電装品回りに気体が 滞留しないかを模擬試験で確認します。 QSESでは、S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を 行っております。 【特長】 ■排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドライン ■可燃性や毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は SEMI S6の評価が必要になる場合がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社キューセス
- 価格：応相談
