ウエハー非接触搬送 ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ
2～12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。
ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能 ○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化 ○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応 ○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：大日商事株式会社
- 価格：応相談
