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特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出
GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料、及び補助電極を用いることで半導体材料、絶縁物材料も分析が可能 ・質量分解能が高く、妨害イオンの除去が可能 ・水素と希ガスを除く、Ｌｉ以下のほとんどの元素について測定が可能 ・同位体比測定が可能
材料中の主成分～極微量元素の組成・分布を簡単に分析
グロー放電質量分析計（GD-MS）は、固体試料表面の元素をアルゴンプラズマでサンプリングして分析するシステムです。ELEMENT GD Plus GD-MSは、連続／パルス放電の切り替えが可能な高圧グロー放電イオン源を採用し、分析のスピードと柔軟性を両立します。 ■固体材料の元素組成を迅速分析 ・70元素以上を一斉分析 ・XRFやOESでは検出困難なサブppbレベルから、主成分までカバーする12桁のダイナミックレンジ ・標準試料不要の半定量分析。標準試料の使用で精密定量も可能 ・ハイスループット：高圧グローの迅速なサンプリングと真空排気により、試料交換を含めて約10分/試料で分析 ■幅広い材料・元素に対応 ・金属・半導体材料の迅速分析。パルス放電＋二次電極で非導電性のセラミックスなども分析可能 ・新開発イオン源オプションによるC・N・Oの高感度分析 ・パルス放電＋冷却機構による低融点元素Ga・In・Teの高感度分析 ■多元素一斉・広いダイナミックレンジの深さ方向分析 パルス放電によるnmオーダーの薄膜の分析から、SIMSでは長時間を要する深さ～100 µmの迅速分析まで対応
