【資料】ウエハからのドライエッチング後ポリマー残渣除去
サステナブルな製品とプロセスを採用することで、環境への影響やサプライチェーン由来のリスクを軽減できる！
当資料は、「perc」プロセスを提案している技術資料です。 異方性ドライエッチングは、側壁を保護するためにポリマーなどの 保護膜を形成しながら行われるものです。 従来は専用の有機溶剤系洗浄液を使用しての洗浄が行われてきましたが、 安全や環境面から敬遠され始めています。 【掲載内容】 ■はじめに ■プロセス概要 ■「perc」洗浄性能 ■プラズマダイシングへの応用 ■結論 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
