グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置
基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載！大気解放することなく連続成膜可能！
当製品は、100×100基板に対応した有機･金属蒸着装置です。 マスク交換用にグローブボックスを連結しており、大気解放することなく 連続成膜することが可能。 蒸着源は、抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを 複数備えた大型蒸着チャンバーです。 【特長】 ■100×100基板に対応 ■マスク交換用にグローブボックスを連結 ■抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを複数備えている ■基板回転･基板加熱対応のホルダーを搭載 ■膜厚分布に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ケニックス株式会社
- 価格：応相談
