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センサユニットを交換するだけ！メンテナンス時間とコストを大幅に削減します
『XPS-7II』は、NF3検知に対応した世界最小クラスのポータブルガス 検知器です。 ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガス を検知可能。 また、ガス検知器の校正が不要で、メンテナンス時間・コストを大幅に 削減できます。 【特長】 ■NF3検知に対応した世界最小クラスのポータブルガス検知器 ■ガス検知器の校正が不要 ■メンテナンス時間・コストを大幅削減 ■対象ガスの変更が可能 ■液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ
●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。 ●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。 ●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。 ●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。 ●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。 ●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。 ●保護等級IP22（JIS C 0920）相当※。 ※レザーケース装着時 わかりやすいLCD画面を搭載 電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい。
カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要です！
『XPS-7II』は、センサユニットの交換により1台で様々なガスを 検知する半導体材料ガス検知器です。 メンテナンス時間とコストが大幅に削減可能。NF3検知に対応した 世界最小クラスのポータブルガス検知器です。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【仕様(抜粋)】 ■検知対象ガス：半導体材料ガス ■検知原理：定電位電解式 ■ガス採気方法：吸引式 ■検知範囲：仕様による ■分解能：フルスケールの100分の1または200分の1表示 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
