標準品一括エッチング液 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

Cuエッチング液標準品、Cu/Ti一括エッチング液

Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。 標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銅