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補償済み 30SCCM、200SCCM、1000SCCM、0mbar～1.25mbar、0mbar～5.0mbar アナログ出力
気流センサ「3000シリーズ」などデュアルホイートストンブリッジは、エアフローの測定を制御します。AWM3000シリーズは、増幅処理を行います。ゲインを増やし、センサ出力に電圧オフセットを導入するために使用できます。ヒーター制御回路およびセンシングブリッジ給電回路は、基板上にパッケージ化されています。 注意：製品破損 AWMシリーズMicrobridgeマスエアフローセンサは液体流量の検知用ではないため、液体がセンサを通過すると損傷を受ける可能性があります。 これらの指示に従わなかった場合、製品の破損を招く可能性があります。
補償型または非補償型 ±25.0SCCM、1.0SLPM、6.0SLPM アナログ出力
気流センサ「40000シリーズ」は、熱伝導原理を利用して動作します。 出力電圧は、パッケージの吸気および排気ポートを通過する空気の質量あるいは他のガスの流量に比例して変化します。独自設計のハウジングが、微細構造の検出素子を通してエアフローの流れを正確に制御します。パッケージの機械的設計により、プリント回路基板に容易に取り付けることができます。 高度な微細構造テクノロジを基にした独自のシリコンチップを備えています。薄膜、ヒータと温度検出素子を含む、熱絶縁されたブリッジ構造で構成されています。ブリッジ構造により、チップ上を流れる空気または他のガスを、高感度かつ迅速に検知できます。中央加熱素子の両側に位置する二重の検出素子は、流れの方向および流量を示します。レーザートリムされた厚膜および薄膜抵抗器により、デバイス間の一貫した互換性が確保されます。 Microbridgeマスエアフローセンサの小型化および熱的分離により、フローへの非常に高速な応答および高い感度が可能になります。
補償済み 200 SLPM、±300 SLPM アナログ出力
気流センサ「700シリーズ」は、特別に設計されたバイパスフローハウジングを備えており、インライン流量測定を提供します。これらのセンサは、通常1インチHOの圧力降下を誘発しながら、最大毎分200標準リットル（SLPM）のフローを測定します。AWM700は、小型パッケージで高流量レンジ機能を備えています。 センサはの応答時間は6ミリ秒、10 Vdc電源を必要としますが、消費電力はわずか60 mWです。コンパクトなプラスティックパッケージは、パフォーマンスを損なうことなく、25 psiの過圧に耐えることができます。スナップイン型のAMP互換コネクタは、信頼性の高い接続を提供します。 また、ポータブル機器やバッテリ駆動アプリケーションで使用にも適しています。AWM700シリーズセンサは、実証済みの信頼性、高精度に加え、医療用人口呼吸器マーケットや医療および分析機器のアプリケーション用の精密な動作特性を備えています。 長時間に渡り精度を維持できるため、再キャリブレーションの必要性を低減します。AWM700センサ回路は、増幅および温度補正を行います。
補償済み 0 SLPM～20.0 SLPM アナログ出力
気流センサ「5000シリーズ」は、ベンチュリ型フローハウジングを備えています。これらは、2.25ft H2Oの最大圧力損失を発生させることで、毎分最大20リットル（標準）（SLPM）の流量を測定します。Microbridgeチップは、フローストリームと直接接触するため、開口部またはバイパス流路の目詰まりに起因するエラーの可能性を大きく低減します。
