1～3 件を表示 ／ 全 3 件
排気中の水を分離して、水の飛散を防止！
ミウラの水封式真空ポンプ/MEA-セパレータ仕様は、 排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止できる水封式真空ポンプです。 【特徴】 ○排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止 ○ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 ○吸引トラブルや破損に強い構造 ○軽量コンパクトボディで省スペース ○付帯品を組込んでいるので、配管施工が簡単 ●詳しくは問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
脱泡・吸着・搬送などの用途で、封水給水量を大幅に節水！
ミウラの水封式真空ポンプ/MEA-節水仕様は、 水の飛散を防止し、かつ封水給水量を大幅に節水(約60%節水)できるポンプです。 【特徴】 ○排気セパレータで排気と水を分離し、水の飛散を防止 ○封水を一部循環して使用するので、約６０％の節水が可能（当社比） ＊１０kPa（絶対圧）～大気圧で使用される場合 ○ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 ○吸引トラブルや破損に強い構造 ○軽量コンパクトボディで省スペース ○付帯品を組込んでいるので、配管施工が簡単 ●詳しくは問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
【樹脂製水封式真空ポンプ】クリーンな真空環境を提供
半導体製造プロセスにおいては、クリーンな作業環境を維持することが重要となります。 当社水封式真空ポンプ「MEA」は、水封式を採用することで作業環境をクリーンに保ち、水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適です。 ミウラの水封式真空ポンプは、単に性能だけを追及したのではなく、何よりも、使いやすさにこだわって開発されました。 ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 吸引トラブルや破損に強い耐久構造になっています。 モータを直結した軽量コンパクトボディで省スペースにも効果的です。 【活用シーン】 ・半導体製造における固定用の真空源として ・クリーンな吸引環境が必要なプロセス ・水蒸気や水分を含む気体の吸引 【導入の効果】 ・省スペース化 ・クリーンな作業環境の維持
