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油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
耐食性に優れるステンレス製（SUS316相当）の水封式真空ポンプ
腐食性ガスを吸引するプロセスでは、 接ガス部に耐食性材質を採用することで、 故障を低減できます。 ◆耐食性材質としてグレードの高い SCS14（SUS316）のステンレスで製造します。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、 配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。 ◆水封式真空ポンプですので 凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆二段式のため2,300Paの到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組合せで800～1,300Paまで 圧力を下げることが可能です。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
