水銀光源 - 企業1社の製品一覧

250W水銀光源 REX-250

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択･切り換えが可能なUV照射装置です。

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択･切り換えが可能なUV照射装置です。 光学フィルターによって必要な水銀輝線波長のみを取り出すことができます。 シャッター、タイマー照射、光量調整、フィルターチェンジャー、外部制御など多彩な機能を標準装備しています。

• 企業：朝日分光株式会社
• 価格：100万円 ~ 500万円

• 半導体検査/試験装置