ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィルタ
「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制が整っている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：日本ドナルドソン株式会社
- 価格：応相談
