真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
DSMC法による3次元希薄気体解析ソフトウェア
DSMC-Neutrals は非構造格子を用いた3次元希薄気体解析用のソフトウェアです。 クヌーセン数が高く非平衡性が強い原子分子流れのシミュレーションを得意とします。 化学種の吸着・脱離(蒸発)も扱えるため、真空蒸着や化学蒸着の装置への適用実績が数多くあります。 また、微粒子の熱泳動、移動する壁表面での散乱、多孔質内の透過等の計算も可能となっています。 ◆さまざまな「対応事例」 ・真空チャンバー内の希薄な「ガス流れ」の解析 ・配管のコンダクタンス評価 ・熱化学蒸着 (熱CVD) ・真空蒸着 ・分子線エピタキシー (MBE) ・酸素ラジカルによるアッシング ・ターボ分子ポンプ ◎トライアル(試用) 有償で1ヵ月のトライアル(試用)を実施しております。 詳しくは下記の「Webからお問い合わせ」より、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ウェーブフロント 本社
- 価格:応相談