【半導体製造向け】圧力補償流量制御バルブ
精密洗浄工程における安定した流量を実現
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの各段階における精密な制御が求められます。特に、ウェーハの精密洗浄工程においては、洗浄液の流量が均一でない場合、洗浄ムラが発生し、製品の品質低下につながる可能性があります。当社の圧力補償流量制御バルブは、幅広い圧力範囲において安定した流量を維持することで、精密洗浄工程における品質安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの精密洗浄工程 ・薬液供給システム ・各種製造装置 【導入の効果】 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善 ・プロセスの安定化
- 企業：株式会社ジュピターコーポレーション
- 価格：応相談
