流量比コントローラ『MADEE5000s』
ユーザー独自の個別制御で比率分配！混合ガス制御やチャンバーへのガス供給に好適な分配コントローラ
当製品は、流量を比率分配制御する流量比コントローラです。国産技術により、高度なマスフロートータルソリューションを提供します。 各SlaveのFlow Ratio Set値をユーザー自身で個別に制御できるメカニズムを搭載。分離型と一体型のラインアップがあり、最小2chから最大6chに柔軟に対応します。さらに、MESやERPベースの生産運用システム、開発・品質管理システムの構築運営をサポートする品質管理システムを実現します。 【特長】 ■流量を比率分配制御（一体型/分離型） ■最小2chから最大6chに対応 ■各SlaveにFlow Ratio Set値を個別に制御可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
