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浮上型インテグレーテッドポンプ(薬液) - 企業1社の製品一覧

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磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Process !

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及びモータは、従来の弊社BPSシステムと異なり、ドライバ・ハウジング として一体化されており、ケーブル配線の煩わしさやスペースの問題からから解放されます。 インペラの回転数を電子回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。

  • その他ポンプ
  • その他半導体製造装置
  • ミキサー・攪拌器

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磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend Process !

モータ・コントローラ一体型BPS-i30ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及びモータは、従来の弊社BPSシステムと異なり、ドライバ・ハウジング として一体化されており、ケーブル配線の煩わしさやスペースの問題からから解放されます。 インペラの回転数を電子回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。

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  • レジスト装置
  • めっき装置

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