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浮上遠心ポンプ - メーカー・企業と製品の一覧

浮上遠心ポンプの製品一覧

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磁気浮上型ベアリングレス BPS-4000

Better pump for Better Yields !

BPS-4000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、2種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。 詳しくはお問い合わせください。

  • ウエハ加工/研磨装置
  • 特殊ポンプ

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コンタミ・メンテ・振動を最小化 ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ

【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロセスの要求に対応する送液性能と制御性能を実現!

高性能な3つの“Minimal(最小化)”を実現! “Minimal” コンタミネーション 接液部に発塵元となるベアリング・軸受・開閉バルブなどの部品を持たない非接触型構造となっています。そのため、ポンプ起因のコンタミネーションの心配がありません。 また、インペラとケース材料には、耐薬液性の高純度フッ素樹脂を使用しており汚染の心配もありません。構造的に、コンタミネーションリスクが最小限に抑えられています。 “Minimal” メンテナンス ポンプ内部には摺動箇所がなくそのため、メンテナンスが必要となる摩耗部品が使われていません。また、インペラの駆動も磁力制御になるので、通常の機械制御で必要となる消耗部品が使われていません。 これらの構造の特徴から、メンテナンス頻度は最小限に抑えられています。 “Minimal” 脈動・振動 インペラをロータとして磁力制御により回転させ送液しているので、脈動・振動がありません。また、摺動部が無いためノイズ音も無く静穏な環境が確保できます。 高い回転への制御性能を有しているので高精度な送量を実現しています。

  • CMP装置

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