【半導体向け】酸性液対応 TSPポンプ ACモデル
半導体製造における薬液供給に。耐腐食性と高精度を実現。
半導体業界では、製造プロセスにおける薬液の正確な供給が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細化が進む中で、薬液の正確な定量注入が求められます。不適切な薬液供給は、製品の不良や製造効率の低下につながる可能性があります。当社酸性液対応 TSPポンプ ACモデルは、耐腐食性に優れた材質を採用し、少量の薬液を正確に送るソレノイド駆動方式を採用しています。これにより、半導体製造プロセスにおける薬液供給の課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・フォトリソグラフィー工程における現像液供給 ・エッチング工程における薬液供給 ・洗浄工程における薬液供給 【導入の効果】 ・薬液供給の精度向上 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善
- 企業:株式会社タカトテクニカ
- 価格:応相談