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化学汚染物質が殆ど存在しない超清浄空間を実現！高精度な清浄化空気供給装置
『清浄化空気供給装置』は、クリ－ンル－ム内にて化学汚染物質が殆ど 存在しない超清浄空間を実現する装置です。 ケミカルフィルタと異なり初期性能を維持。さらに、吸着部の自己再生処理 機能によりメンテナンスフリ－を実現しました。 除去したい汚染物質をご相談下さい。最適な除去装置をご提案します。 【特長】 ■除去ユニット10m3/min ■自己再生処理機能によりメンテナンスフリ－ ■精密空調装置との組み合わせで高精度な温度・湿度制御が可能 ■SEMI・CE・RoHS等の海外安全規格対応が可能 ■寸法：960(W)×770(D)×1660(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
化学汚染物質が殆ど存在しない超清浄空間を実現！高精度な清浄化空気供給装置
当製品は、クリ－ンル－ム内にて化学汚染物質が殆ど存在しない超清浄空間を 実現する温湿度コントローラー搭載タイプの清浄化空気供給装置です。 ケミカルフィルタと異なり初期性能を維持。さらに、吸着部の自己再生処理 機能によりメンテナンスフリ－を実現しました。 除去したい汚染物質をご相談下さい。最適な除去装置をご提案します。 【特長】 ■除去ユニット20m3/min（省フットプリント版） ■自己再生処理機能によりメンテナンスフリ－ ■精密空調装置との組み合わせで高精度な温度・湿度制御が可能 ■SEMI・CE・RoHS等の海外安全規格対応が可能 ■寸法：1580(W)×1200(D)×2710(H) ※詳しくは、お気軽にお問合わせ下さい。
