X線反射率測定(XRR)による薄膜評価
膜構造・組成情報があらかじめ分かれば、多層膜もシミュレーションにより評価可能！
当社で行う「X線反射率測定(XRR)による薄膜評価」についてご紹介いたします。 X線反射率測定(XRR)は、臨海全反射各近傍でのX線の減衰や干渉縞のある X線プロファイルと計算で得られたプロファイルをフィッティングさせることで、 表面(界面)粗さ・膜密度・膜厚の情報を得ることができます。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【解析可能な薄膜】 ■試料表面：鏡面(表面粗さ 5nm以下) ■試料サイズ：30mm×30mm以上 ※サイズが小さい場合はご相談 ■膜厚：2nm～500nm ■必要な情報：膜構造および膜組成情報 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：東芝ナノアナリシス株式会社
- 価格：応相談
