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無限補正対物レンズ(光学素子) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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ニコン干渉用無限補正対物レンズ

標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致します。

 干渉用対物レンズは、非接触な光学三次元計測を実現する微分干渉顕微鏡に用いられます。被検試料表面の構造的特徴を、光の波長以下の精度で非常に高精密に調べることができます。光学系の中にビームスプリッターが組み込まれており、一部の照明の光はこの素子を透過して被検試料に直射し、残りの照明の光はこの素子で反射して、光学系に同じく組み込まれている参照用ミラーにリレーします。被検試料にから反射して戻ってきた光と、参照用ミラーから反射して戻った光とが再び重なり、干渉縞のパターンを形成します。マイケルソン干渉系用のEpi Plan TIレンズは、比較的長作動で広い実視野と長めの焦点深度を持っているのに対し、ミロー干渉系用のEpi Plan DIレンズは、より高倍率、或いはより高NAを要求するアプリケーションに用いられます。 ※下記より、こちらの製品が掲載されているエドモンド・オプティクス・ジャパンのカタログがダウンロードできます。

  • 光学顕微鏡

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