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半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉
大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や太陽電池製造などに好適 ■多様なラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
還流ファン方式を採用！炉内の温度分布を均一に保ちます
『TE-9815』は、ハードディスクアルミニウム基板製造ラインの 専用カセット収納サブストレートエージング自動化装置です。 炉内の温度分布を均一にするため、還流ファン方式を採用。 炉内、コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■クリーンルームクラス10,000対応 ■還流ファン方式を採用 ■ワークに衝撃振動を与えず搬送が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
あらゆる高機能糸の二次加工に適した装置です。
『コード処理装置』は、高分子化学工業用機械の製造販売を行う、株式会社市金工業社の製品です。 当製品は、あらゆる高機能糸の二次加工に適した乾燥・熱処理装置です。 繊維加工で培われた搬送制御技術は、産業資材用コードの分野でも活躍しています。 各種高機能糸の樹脂含浸、薬液処理、延伸、乾燥、熱処理に最適です。 【乾燥・熱処理装置ラインアップ】 ■フローティングドライヤー ■コーター＆ドライヤー ■コード処理装置 ■高温熱処理装置 ■樹脂加工装置 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
