熱流束マイクロセンサー
独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス
表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。
- Company:センサテクノス株式会社
- Price:応相談
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独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス
表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。