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熱流束マイクロセンサ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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熱流束マイクロセンサー

独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス

表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。

  • センサ

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