独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス
表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により化学蒸着させた薄膜ディバイス。
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基本情報
【概要】 HFM : 熱流束マイクロセンサーは、表面温度を測定する測温抵抗体(RTS)と、 熱流束を測定する熱流センサーとを窒化アルミ基板上に、独自の技術により 化学蒸着させた薄膜ディバイスです。この熱流センサーは差動型サーモパイルで、 高精度に高密度に配置された上下ペアーの熱電対と熱抵抗層からなる三層の 複合パターンで構成されています。 熱がHFMの表面に流入/流出すると、各熱電対ペアーが挟んでいる熱抵抗層に 温度差が生じ、流入/流出している熱量に 比例した電圧が発生します。 【特徴】 ・最高速の応答(約 6μ秒) ・外部冷却不要で 850℃まで稼動 ・低雑音 ・従来の薄膜センサーの10倍高感度 ・センサー表面の熱流束と温度を測定 ・伝導、対流、輻射に等感度 □その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい
価格情報
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納期
用途／実績例
【アプリケーションの例】 ・エンジン内壁の熱伝達状態観察 ・ロケットエンジンのトラバース実験 ・タービンブレード熱風洞試験 ・自動車用エアーバッグ安全性試験 ・ジェットエンジンのバックファイヤー試験
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