『DP-Fノンメタルシリーズ』半導体産業用ダイアフラムポンプ
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用ダイアフラムポンプ
DP-Fノンメタルシリーズ:半導体産業用 エア切替ダイアフラムポンプ 【特徴】 ■ダイアフラムをはじめポンプ本体の接液部も全て フッ素樹脂(PTFE・PFA)を使用した樹脂タイプのポンプで、 強酸・強アルカリ液などに優れた耐食性を持つ ■ワンピースダイアフラム、樹脂センターロッドなどノンメタル化を実現 ■標準でハードシールを採用していますので、温度変化のある環境や CMPスラリー移送に最適 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ヤマダコーポレーション
- 価格:応相談