超疎水性大気圧プラズマ装置
疎水性プラズマのナノインプリントへの転用
CF4, H2, C2F6, C3F6, C4F8, CH4, C2H2, C2H4などのガスや液体をプラズマを用いて表面にコーティングすることで表面を疎水化させます。 金型との剥離性を向上させ、微細パターンの破損を防ぎます。
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疎水性プラズマのナノインプリントへの転用
CF4, H2, C2F6, C3F6, C4F8, CH4, C2H2, C2H4などのガスや液体をプラズマを用いて表面にコーティングすることで表面を疎水化させます。 金型との剥離性を向上させ、微細パターンの破損を防ぎます。