1～5 item / All 5 items
ポート口径種は、ANSI、ISO、JISのポート口径形式をご用意。特殊ポート口径にも対応。
『VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブ』は、ほぼ全ての口径種類に 対応します。 また、異なるポート口径種同士でのコンビネーションにも、異なる口径サイズ （例：片側4インチ、片側6インチポート等）同士でのコンビネーションにも対応します。 フランジ面間寸法を極力狭くした「フランジレスバルブ」製作にも対応できます。 ステンレス製と6061アルミニウム製から素材をお選び頂けます。 駆動部の取り外しに特殊工具、技術などは必要とせず、誰でも簡単に駆動部の 取り外しが可能です（取り外し所要時間：約5分）。 VRC社は、米国ペンシルバニア州ピッツバーグに本社を置く真空用設備機器の メーカー Vacuum Research Corporation です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高メンテナンス性・高耐久・高シール性製品が多数。ポート口径、用途に合わせた特注OK。全製品RoHS対応。
当社では、加圧・減圧両方向に対して高いシール性を発揮する VRC社製の『真空ゲートバルブ』を取り扱っております。 各種フランジ規格（ISO、JIS、ANSI等）に対応した「ボンネットスタイル」をはじめ、安価・低アウトガスの「アルミ製タイプ」、 メンテナンスが容易なタイプなど特徴的な製品をラインアップ。 非常に低いリーク数値を誇り、RoHS指令にも対応済みです。 【製品ラインアップ(抜粋)】 ■ボンネットスタイルゲートバルブ(アルミニウム製・ステンレス製) ■エンドオペレーテッドタイプゲートバルブ ■小型ステンレス製ゲートバルブ ■長方形ポートゲートバルブ ★「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。
半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアップを掲載
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気系ゲートバルブ ◎オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
