真空シール『マルチプロセスフェローシール』
真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール
『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ [同軸3軸リニアモーションタイプ] ■同軸3軸構造でありながら、高い振れ、回転精度を実現する高剛性タイプ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社フェローテックホールディングス
- 価格：応相談
