真空バッチ炉(酸素濃度計) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」

小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ２枚の処理能力があります。 【特徴】 ○最高温度　300℃ 対応 ○温度コントローラーは、専用タイプにより 　プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。