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無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広いラインアップをご提供！コストやニーズに合わせた製品をご紹介します。
真空ポンプの能力は、到達圧力と排気速度で決まります。 当社では、到達圧力と排気速度の異なる多種多様な製品を用意しており、 コストやニーズに合わせた製品をお選びいただけます。 1～20Paの中真空から高真空を実現する「ISPシリーズ」をはじめ、 低真空の汎用真空ポンプ「GVSシリーズ」などをラインアップしています。 【特長】 ■オイルフリーのスクロールポンプを開発 ■油汚染やメンテナンスの問題を解決 ■理化学分野の先端産業から一般用とまで幅広く利用可能 ■トルク変動が少ないスクロール機構の採用により、低振動・低騒音を実現 ■空冷機構を採用、面倒な冷却水の管理が不要 ※詳しくはURLよりご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
