真空ポンプユニット
真空ポンプをユニット化、装置横に設置してすぐに使用可能です
ドライ真空ポンプ アルバック機工製 ＤＡＬ－１８１Ｄを使用 メインタンクとサブタンクを備え、安定した真空度を保ちます。 上位装置からの信号によりバルブの開閉を行い、脱気を行います、その他真空源としてご利用いただけます。 ドライ真空ポンプを使用していますので、油煙などを嫌う場所にも最適です
- 企業：株式会社加藤機械
- 価格：50万円 ~ 100万円
真空ポンプユニット - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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真空ポンプユニット（装置組込型） P94
水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！
『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。 ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。 【特長】 ■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット ■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社テクノメイト
- 価格：応相談
真空ポンプユニット『EVP03シリーズ』／コガネイ
当社電動オートハンドチェンジャには、ロボットアダプタなしでダイレクトに取付可能
『EVP03シリーズ』は、正負圧ポンプ圧力センサ及び切替用バルブを 一体化した吸着搬送機器です。 ロボットアダプタは4種類、バキュームパッドは多数ラインアップし、 ご使用のロボットや搬送ワークに合った適切な組合せをお選びいただけます。 正負圧ポンプによるワーク離脱用エアブロー(正圧)機能搭載。確実且つ スピーディーなワーク離脱で搬送工程のタクトタイムを短縮します。 【特長】 ■ポンプ搭載により外部からのエア供給不要 ■ワーク離脱用ブローエアー機能を標準搭載 ■RS485通信を標準搭載 ■パッド類、ロボットアダプタのバリエーションが充実 ■小形・軽量化により、小形ロボットに搭載可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：大喜産業株式会社
- 価格：応相談
