真空ポンプユニット
真空ポンプをユニット化、装置横に設置してすぐに使用可能です
ドライ真空ポンプ アルバック機工製 ＤＡＬ－１８１Ｄを使用 メインタンクとサブタンクを備え、安定した真空度を保ちます。 上位装置からの信号によりバルブの開閉を行い、脱気を行います、その他真空源としてご利用いただけます。 ドライ真空ポンプを使用していますので、油煙などを嫌う場所にも最適です
- 企業：株式会社加藤機械 本社
- 価格：50万円 ~ 100万円
真空ポンプユニット - メーカー・企業と製品の一覧
真空ポンプユニットの製品一覧
1～2 件を表示 ／ 全 2 件
表示件数
真空ポンプユニット（装置組込型） P94
水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！
『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。 ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。 【特長】 ■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット ■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社テクノメイト
- 価格：応相談
