感度特性バツグン！『真空制御用レギュレータ』
繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！
フェアチャイルド社製『真空制御用レギュレータ』は、極めて高い感度特性で 大気圧近辺の浅い真空域から最大－96.8kPaまで制御可能です。 ラインアップは4種で、いずれも繰返し特性に優れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により 感度特性は125Paと超高感度です。 分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、 半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御など多用途で活躍しています。 使用方法は2種類で、 真空容器の外側に配管し、大気または正圧を真空側に送出する方法と、 真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
