石英ガラス
紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲！急激な温度変化にも耐えられる！
高純度と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、『石英ガラス』の 重要な応用分野の一つです。 近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、ますます高精度な製品が 求められるようになってきています。 CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等 当社の加工技術で高度な要望に応えてさらに応用分野を拡大しています。 【特長】 ■紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲 ■良好な透過特性 ■熱に強い、軟化点が約1700℃と非常に高く、1000℃の高温まで使用可能 ■熱膨張係数も極めて小さいため急激な温度変化にも耐えられる ■優れた耐薬品性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：京浜ラムテック株式会社
- 価格：応相談
