『石英ガラス』小径穴、3次元的微細流路も形成可
【製作事例】φ500mmまで製作実績あり!「石英カラス内部に精密中空パターンを形成」等アイディアに応じた加工をご提案いたします。
テクノクオーツ は主に半導体・液晶製造装置関連及び理化学機器に使用される高精度な石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。 本資料では、ガス、液体を流し込む「内部流括付ガスシャワープレート」について写真付きでご紹介しています。 <テクノクオーツ技術特長> ・石英カラス内部に精密中空パターンを形成することが可能 ・形状を変形させずにバルク同等の強度で接合することが可能 ・製品サイズで¢500mmまで製作実績あり ・熱拡散を利用し、石英ガラス部材同士を直接接合が可能 等 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
- 企業:テクノクオーツ株式会社
- 価格:応相談