社製PVDシステム - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

TRIBUS SYSTEM社製 PVDシステム

Enduraを知り尽くした会社が提案する新たなPVD装置

TRIBUS SYSTEM社はアプライドマテリアル社製EnduraⓇPVDシステムのリファービッシュ専門会社であるSemicat社の子会社です。同社は2020年に設立し、Semicatで培った知識・経験を基に独自開発のPVDシステム(SURPASS P200Ⓡ)を2021年より製造・販売をしております。従来のPVDシステムと比較致しまして、スループットやソフトの操作性・柔軟性が向上しており、半導体製造主要国の会社様でのご採用が加速しております。