窒化珪素へのディンプル加工
Φ100μm、ピッチ150μm、深さ30μmの半球状の凹形状を60度の千鳥配列に作成しています
酸、アルカリに対する高い耐食性、以前ご紹介した炭化ケイ素と比較しても高い曲げ強度、破壊靭性、耐熱衝撃性を有し、半導体関連や機械部品等に広く活用される窒化珪素はその特性から、難削材料としても知られています。
- 企業:株式会社リプス・ワークス
- 価格:応相談
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Φ100μm、ピッチ150μm、深さ30μmの半球状の凹形状を60度の千鳥配列に作成しています
酸、アルカリに対する高い耐食性、以前ご紹介した炭化ケイ素と比較しても高い曲げ強度、破壊靭性、耐熱衝撃性を有し、半導体関連や機械部品等に広く活用される窒化珪素はその特性から、難削材料としても知られています。