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半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です
管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能 ・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径 のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術 【仕様】 ・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM ・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃） ※詳しくはお問い合わせください。
温度・流量・圧力を同期記録し、電極焼成条件を最適化
当社では、電池電極材の焼成条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 電極材料の焼成では、温度、圧力、ガス流量、雰囲気条件が、均一性・特性ばらつき・不良発生に影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、焼成中の反応挙動や条件変化を把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、焼成中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ 電極焼成条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
焼成中の温度・流量・圧力を同期記録し、条件出しを効率化
当社では、セラミックス焼成プロセスの条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 セラミックス焼成では、温度、圧力、雰囲気ガス、流量条件が焼成結果に大きく影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、焼成中の温度変化、圧力変動、ガス流れを把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、焼成中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ セラミックス焼成条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
温度・流量・圧力を同期記録し、金属・合金の熱処理条件を最適化
当社では、金属・合金材料の熱処理条件検討に適した「管状炉」を取り扱っております。 金属・合金の焼成や熱処理では、温度、圧力、ガス流量、雰囲気条件が、合金組成、組織変化、酸化・還元挙動、品質ばらつきに影響します。 汎用管状炉では焼成前後の評価に留まり、熱処理中の温度変化、圧力変動、ガス流れを把握しにくい場合があります。 本設備では、MFC、圧力計、物温熱電対、サンプリングラインなどを用途に応じて組み込み、熱処理中の温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで記録できます。 【特長】 ■ 温度・流量・圧力を同期ロギング ■ MFC、圧力計、物温熱電対を用途に応じて実装 ■ サンプリングポート、排気ラインを設計可能 ■ 真空、不活性ガス、H2など各種雰囲気に対応 ■ 金属・合金の熱処理条件の比較・再現性確認に好適 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
