水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス
ダイサ排水を再利用！装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなりました
某半導体製造装置メーカー様は、ダイシング工程からの排水リサイクル実現を 目標に掲げていました。 そこで当社は、排水の回収で環境負荷低減が実現できる、使い勝手のよい 水処理装置の開発を進め、精密ろ過技術を導入。 その結果、環境負荷やランニングコストを低減することができ、更に装置の コンパクト化により、メンテナンスが簡素化されました。 【事例概要】 ■背景 ・ダイシング工程からの排水リサイクル実現を目標に掲げている ■解決方法 ・ダイシング工程から排出される切削屑をMF膜で処理 ・回収水はリサイクルされ洗浄用水に再現 ・恒温水装置を組込み一体型でコンパクトにする ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：伸栄化学産業株式会社
- 価格：応相談
