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維持エアベアリングステージ(測定) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

維持エアベアリングステージ Product List

1～2 item / All 2 items

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長ストロークでも測定品質を維持するエアベアリングステージ

長ストロークでも測定品質を維持するエアベアリングステージ

真直度±50nmと500mm/s高速搬送により、X線CTや半導体検査の位置誤差を低減

PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー
  • 維持エアベアリングステージ

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高速スキャン時の測定品質を維持するエアベアリングステージ

高速スキャン時の測定品質を維持するエアベアリングステージ

真直度±0.05µmと390mm/s高速動作により、半導体・光学検査工程の位置誤差を低減

A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー
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