SEM・超解像顕微鏡の走査再現性を維持するピエゾステージ
長ストロークと3nm微動を両立し、高倍率観察時の位置ズレやドリフトを抑制
・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
維持ピエゾステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
維持ピエゾステージの製品一覧
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