大型ワークの回転測定品質を維持する回転ステージ
260mm大開口と300nm偏芯により、XCT・ビームライン用途の回転誤差を低減
本製品は、最大260mmの開口を備えた薄型設計の高精度エアベアリング回転ステージです。 エア浮上ガイドを採用しているため、一般的なメカニカルガイドのような摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのため、スティックスリップや摩擦熱が発生せず、高速駆動と高い回転精度を実現します。 さらに、優れた平面度とわずかな偏心により、高精度な回転位置決めが可能です。 特長： ・大開口260mm、厚さ113mmの薄型設計 ・エアベアリングによる無摩擦回転 ・高い平面度と低偏心による高精度位置決め ・インクリメンタル／アブソリュートエンコーダ対応 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
