ウエハー用導電性耐熱保護テープ（静電チャック）
PI、PENを使用した導電性耐熱保護テープ。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーで使用可能。ウエハー表面保護用途にも。
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能 〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：アキレス株式会社 工業資材販売部
- 価格：1万円 ~ 10万円
